[发明专利]衬底保持设备以及抛光装置有效
| 申请号： | 200580042189.X | 申请日： | 2005-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN101072658A | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | 户川哲二;吉田博;锅谷治;福岛诚;深谷孝一 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;H01L21/304;B24B37/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种根据本发明的衬底保持设备，其包括将与衬底的后表面接触的弹性膜，用于固定该弹性膜的至少一部分的附着构件，以及在当衬底与该弹性膜接触时用于保持该衬底的外围部分的保持环。弹性薄膜包括至少一个突出部分，而附着构件包括至少一个啮合部分，该啮合部分与弹性膜的该至少一个突出部分的侧表面啮合。弹性膜进一步包括波纹部分，该波纹部分可以在挤压方向上膨胀，以允许弹性膜挤压衬底，且该波纹部分可以沿着挤压方向收缩。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 保持 设备 以及 抛光 装置 | ||
【主权项】：
1、一种衬底保持设备，包括：弹性膜，使其与衬底的后表面接触；附着构件，用于固定所述弹性膜的至少一部分；以及保持环，用于在该衬底与所述弹性膜接触时保持该衬底的外围部分，其中所述弹性膜包括至少一个突出部分，并且所述附着构件包括与所述至少一个突出部分啮合的至少一个啮合部分。
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