[发明专利]电荷偏置MEM谐振器无效
| 申请号： | 200580044215.2 | 申请日： | 2005-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN101088216A | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | 彼得·斯蒂内肯;约瑟夫·托马斯·马丁努斯·范贝克 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈瑞丰 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种包括振动元件(10)以及至少第一电极(20)和第二电极(30)的谐振器，至少一个电极存储有电荷，以对所述器件进行电荷偏置。电荷调节器(C)可以增加或减少存储的电荷。所述电荷调节器可以是用于减小泄漏的电容器或是通过开关连接的电源。它可以减小静态阻力的问题、减小功耗并减小非线性性，使得能够在操作前调节电荷电平。第二开关可以用于将所述振动元件接地。 | ||
| 搜索关键词： | 电荷 偏置 mem 谐振器 | ||
【主权项】：
1.一种谐振器，包括振动元件和电极，其设置为使所述元件根据输入信号而振动，并根据振动产生输出信号，将所述电极和振动元件中至少一个设置为在使用时存储电荷，并且所述电极和振动元件中至少一个包括电荷调节器，所述电荷调节器设置用于增加或减少存储的电荷。
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