[发明专利]振荡微机械角速度传感器

摘要

本发明涉及在测量角速度中使用的测量装置，并且更具体地，涉及振荡微机械角速度传感器。在根据本发明的角速度传感器中，通过弹簧，或者通过弹簧及刚性辅助结构，使测震质量(1，2，36，37)附接到支撑区域，其给予质量(1，2，36，37)相对于垂直于由质量构成的晶片平面的旋转轴线，并相对于平行于晶片平面的至少一个旋转轴线的自由度。根据本发明的角速度传感器的结构，特别在紧凑型振荡微机械角速度传感器中，其能够进行可靠和有效的测量。

主权项

1.一种振荡微机械角速度传感器，其特征在于：它包括在支撑区域附接到传感器部件主体的两个测震质量(1)，(2)，(36)，(37)，以及在质量(1)，(2)，(36)，(37)之间的连接弹簧，使得--角速度传感器主运动是围绕支撑区域的两个测震质量(1)，(2)，(36)，(37)的反相角度振荡，所述运动是必须被产生的，--通过至少一个弯曲弹簧(11)，(50)，使所述测震质量(1)，(2)，(36)，(37)彼此连接，其机械地同步于它们的主运动，并且--通过弹簧或者通过弹簧和刚性辅助结构，将测震质量(1)，(2)，(36)，(37)连接到支撑区域，相对于与由质量形成的晶片平面相垂直的旋转轴线，并相对于在所述晶片平面方向上的至少一个旋转轴线，其给予所述质量(1)，(2)，(36)，(37)自由度。