[发明专利]太阳能电池用光吸收层及其制备方法

摘要

公开了一种具有增强的日光吸收作用的太阳能电池用光吸收层，该光吸收层包括互相层合的CuGaSe₂、CuIn_1-xGa_xSe₂和CuInSe₂。还公开了该光吸收层的制备方法。该方法包括以下步骤：通过金属有机化学气相沉积，由含有In和Se的单独前体在基底上形成InSe薄膜；通过金属有机化学气相沉积，使用Cu前体在InSe薄膜上形成Cu₂Se薄膜；通过金属有机化学气相沉积，使用含有Ga和Se的单独前体在Cu₂Se薄膜上形成CuGaSe₂薄膜；以及通过金属有机化学气相沉积，使用含有In和Se的单独前体以及Cu前体在CuGaSe₂薄膜上形成CuGaSe₂/CuInSe₂多层薄膜结构。

主权项

1、一种太阳能电池用光吸收层的制备方法，该方法包括以下步骤：步骤1：通过金属有机化学气相沉积，由含有第III族元素(以下叫做“B”或“C”，B的原子序数大于C)(B)和第IV族元素(以下叫做“X”)的单独前体在基底上形成结构式为BX的化合物薄膜；步骤2：通过金属有机化学气相沉积，将来自含有第I族金属元素(以下叫做“A”)的前体的金属供给所述结构式为BX的化合物薄膜，形成结构式为A2X的化合物薄膜；步骤3：通过金属有机化学气相沉积，使用含有第III族元素(C)和第VI族元素(X)的单独前体在所述结构式为A2X的化合物薄膜上形成结构式为ACX2的化合物薄膜；以及步骤4：通过金属有机化学气相沉积，使用含有第III族元素(B)和第VI族元素(X)的单独前体在所述结构式为ACX2的化合物薄膜上形成结构式为ABX2的化合物薄膜，由此形成结构式为ACX2/ABX2的多层薄膜结构。