[发明专利]具有辅助晶圆限制系统的晶圆容器

摘要

本发明揭示一种晶圆容器，其在实体震动事件期间对晶圆提供改良的限制。一具有多个切口的辅助晶圆限制结构夹置于容器门上的相对的晶圆限制部件之间。

主权项

1.一种多个晶圆与一容器的组合，所述容器用于以-轴向对齐、大体平行相间的排列方式容纳所述晶圆，所述容器包括：一外壳部分，其具有一顶部、一底部、一对相对的侧面、一背部及由一门框架界定而成的一相对、敞开的正面；一门，其可密封地接纳于所述门框架中，以封闭所述敞开的正面；以及一晶圆限制系统，包括位于所述外壳部分中的至少一个晶圆支撑结构及位于所述门上的一晶圆限制结构，以用于啮合及限制所述晶圆，所述至少一个晶圆支撑结构包含多个晶圆支撑架，所述多个晶圆支撑架界定多个狭槽，各狭槽适于分别接纳所述多个晶圆中一单独的晶圆，位于所述门上的所述晶圆限制结构包括一主限制结构及一辅助限制结构，所述主限制结构包括多个弹性晶圆啮合部件，其排列成使第一多个所述晶圆啮合部件与第二多个所述晶圆啮合部件相间隔并相对，所述辅助限制结构定位于所述第一多个与第二多个晶圆啮合部件中间，并界定多个切口，所述切口排列成当所述门啮合于所述门框架中时，在每一切口中分别接纳所述多个晶圆中一单独的晶圆。