[发明专利]干涉设备、方法和探头

摘要

一种用于执行傅里叶域光学相干层析成像的光学干涉设备包括提供多个光束的装置，由此同时记录待检查物质内多个不同焦深的干涉图，每一个干涉图由多个光束之一提供。提供用于将从多个不同焦深的干涉图得出的图像组合起来的装置，由此可以构造具有增大的景深的单一图像。计算焦点的轴向间隔，以便考虑待检查的物质中焦点腰的瑞利范围。

主权项

一种用于执行傅里叶域光学相干层析成像的光学干涉设备，所述设备包括提供多个光束的装置，由此同时记录待检查物质内多个不同焦深的干涉图，每一个干涉图由所述多个光束之一提供，其中所述提供多个光束的装置包括接收单光束的装置和把所述单光束分成所述多个光束的装置，以及其中把所述单光束分成所述多个光束的装置包括反射面和部分反射面，由此接收的光束传到所述部分反射面并且所述光束的一部分穿过所述部分反射面以便形成第一光束，并且另一部分被反射到所述反射面，在所述反射面，这一部分光束被反射回所述部分反射面并且该光束的一部分穿过所述部分反射面以便形成第二光束，设置所述部分反射面和所述反射面，使得所述第一和第二光束彼此平行地移位，此外，通过在所述反射面和所述部分反射面上的反射和透射来提供所述多个光束的相继的光束。