[发明专利]使用可用于产生光掩模定单的逻辑操作实体自动产生加工规范的系统和方法

摘要

一种使用加工规范生成系统生成用来制造光掩模的光掩模定单的方法，包括通过创建、修改和/或删除由加工规范表示的逻辑操作的成分生成加工规范。逻辑操作所需的信息可由外部源例如数据库输入，和/或可从查找表中选择。构成逻辑操作中的表达式的操作符的别名可根据光掩模用户的需要修改。加工规范的格式可由光掩模制造者的计算机系统进行验证。按各种专有的和工业标准格式的加工规范被发送给光掩模制造者的计算机系统以对其进行分析，并且可使用加工规范模拟光掩模设计。在收到分析结果之后，光掩模用户的计算机系统根据加工规范生成光掩模定单。然后把光掩模定单发送给光掩模制造者的计算机系统用于制造光掩模。这种加工规范生成系统可以是独立的系统，或者和光掩模订单生成系统集成在一起。

主权项

1. 一种用于制造光掩模的方法，包括以下步骤：从光掩模用户的计算机系统接收加工规范；分析该加工规范；把分析的结果发送给光掩模用户的计算机系统；接收根据该加工规范生成的光掩模定单；以及根据光掩模定单制造光掩模。