[发明专利]带有双膜片的微机械膜片传感器无效
| 申请号： | 200580048189.0 | 申请日： | 2005-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN101119924A | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | M·伊林;H·韦伯;C·舍林;H·施塔尔;S·魏斯 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明描述了一种用于制造微机械膜片传感器的方法以及一种借助所述方法制造的微机械膜片传感器。在此规定，微机械膜片传感器具有至少一个第一膜片和一个基本上在第一膜片之上的第二膜片。此外还规定，微机械膜片传感器具有第一空腔和基本上在第一空腔之上的第二空腔。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 膜片 微机 传感器 | ||
【主权项】：
1.用于制造微机械膜片传感器的方法，所述微机械膜片传感器至少具有一个第一膜片(400)和一个基本上位于该第一膜片上方的第二膜片(410)，以及一个第一空腔(300)和一个基本上位于该第一空腔(300)上方的第二空腔(310)，其中为了制造膜片传感器，设置这些方法步骤：在衬底(100)上产生一个第一保护层(110)，在该第一层(110)中产生至少一个孔(120)直到该衬底(100)，将一个第一膜片层(130)施加到该第一保护层(110)上，将该第一膜片层(130)结构化，在该第一膜片层(130)的至少一部分上产生一个第二保护层(150)，在该第二保护层(150)中产生至少一个孔(160，165)直到该第一膜片层(130)，将一个牺牲层(170)施加到该第二保护层(150)上，在该牺牲层(170)的至少一部分上产生一个第三保护层(180)，施加一个第二膜片层(210)，在该第二膜片层(210)和该第三保护层(180)中产生至少一个孔(230)直到牺牲层(170)，其特征在于，在一个刻蚀步骤中通过去除掉该牺牲层(170)的、该第一膜片层(140)的以及该衬底(100)的一部分来产生这两个空腔(300，310)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司，未经罗伯特·博世有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200580048189.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
