[发明专利]集成热单元有效
| 申请号： | 200580048566.0 | 申请日： | 2005-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN101443131A | 公开（公告）日： | 2009-05-27 |
| 发明（设计）人： | 大卫·H·喀什;马丁·杰夫·萨里纳斯;石川徹夜 | 申请（专利权）人： | 测度有限公司 |
| 主分类号： | B05D5/00 | 分类号： | B05D5/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵 飞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种集成热单元包括：烘烤板，其构造成对支撑在烘烤板的表面上的衬底进行加热；冷却板，其构造成对支撑在冷却板的表面上的衬底进行冷却；和衬底传送梭，其构造成将衬底从烘烤板传送到冷却板，衬底传送梭具有控温衬底保持表面，所述保持表面能够对由烘烤板加热的衬底进行冷却。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 单元 | ||
【主权项】：
1. 一种集成热单元，用于处理衬底，所述集成热单元包括：烘烤板，构造成对支撑在所述烘烤板的表面上的衬底进行加热；冷却板，构造成对支撑在所述冷却板的表面上的衬底进行冷却；和衬底传送梭，构造成将衬底从所述烘烤板传送到所述冷却板，所述衬底传送梭具有控温衬底保持表面，所述保持表面能够对由所述烘烤板加热的衬底进行冷却。
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