[发明专利]静电电容式传感器

摘要

提供一种操作性较好、误操作较少的静电电容式传感器。在变位电极(40)和保持为预定电位的开关用电极(E11)～(E14)以及接地的开关用电极(E15)～(E18)之间形成开关(SW1)～(SW4)。此外，在与变位电极(40)之间构成电容元件的电容元件用电极(E1)～(E5)上分别连接开关(SW11)～(SW15)。在判定电路中，判定开关(SW1)～(SW4)的状态。在开关(SW1)～(SW4)的至少一个为断开状态的情况下，只对与X轴方向以及Y轴方向对应的电容元件用电极(E1)～(E4)输入周期信号，在开关(SW1)～(SW4)全部为接通状态的情况下，只对与Z轴方向对应的电容元件用电极(E5)输入周期信号。

主权项

1.一种静电电容式传感器，其特征在于，具有：衬底；与所述衬底对置的检测构件；导电性构件，位于所述衬底与所述检测构件之间，与所述检测构件在与所述衬底垂直的方向进行变位相伴，能够在与其相同的方向变位，维持为绝缘状态；第一电容元件用电极，形成在所述衬底上，并且，在与所述导电性构件之间构成第一电容元件；第二电容元件用电极，形成在所述衬底上，并且，在与所述导电性构件之间构成第二电容元件；多个第一开关用电极，以与所述导电性构件隔离的方式配置并接地；多个第二开关用电极，以与所述导电性构件隔离并且与所述第一开关用电极成对的方式配置，保持为与接地电位不同的电位，与所述检测构件进行变位相伴，所述导电性构件在朝向所述第一以及第二电容元件用电极的方向变位，并且，能够与所述多对第一以及第二开关用电极接触，在所述导电性构件不与所述多对第一以及第二开关用电极的至少一对接触的情况下，只利用对所述第一电容元件用电极输入的信号，基于检测因所述导电性构件与所述第一电容元件用电极的间隔的变化引起的所述第一电容元件的静电电容值的变化，能够识别所述检测构件的与所述第一电容元件用电极对应的部分的变位，并且，在所述导电性构件与所述多对第一以及第二开关用电极的全部接触的情况下，只利用对所述第二电容元件用电极输入的信号，基于检测因所述导电性构件与所述第二电容元件用电极的间隔的变化引起的所述第二电容元件的静电电容值的变化，能够识别所述检测构件的与所述第二电容元件用电极对应的部分的变位。