[发明专利]维修方法及其装置无效
| 申请号： | 200580049208.1 | 申请日： | 2005-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN101147093A | 公开（公告）日： | 2008-03-19 |
| 发明（设计）人： | 阿部政弘 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/02 | 分类号： | G02B26/02;G02F1/13;G02B26/08;G09F9/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种维修方法及其装置。在该维修方法及装置中，从对玻璃基板(2)上的缺陷部进行拍摄而取得的缺陷图像数据中提取出缺陷部的形状数据，根据该形状数据来对DMD单元(16)的各微小反射镜高速地进行角度控制，使由这些微小反射镜所反射的激光(r)的截面形状与缺陷部的形状大致一致而照射到缺陷部。 | ||
| 搜索关键词： | 维修 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种维修方法，其特征在于，在该维修方法中，向空间调制元件入射从激光光源输出的激光，该空间调制元件具有在纵横方向上排列多个而形成的各调制要素，对该空间调制元件的各调制要素分别进行控制，通过所述各调制要素将所述激光的截面形状整形为维修对象的形状，向所述维修对象照射该整形后的所述激光，来对该维修对象进行修复。
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