[发明专利]向机器人指示工件交接位置的指示装置和指示方法无效
申请号: | 200580049621.8 | 申请日: | 2005-04-27 |
公开(公告)号: | CN101167175A | 公开(公告)日: | 2008-04-23 |
发明(设计)人: | 松村和幸 | 申请(专利权)人: | 平田机工株式会社 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;B25J9/22 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 黄剑锋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种廉价、能够短时间地进行指示的向机器人指示工件交接位置的指示装置和指示方法。在可动侧的机器人手(2)与固定侧的工件安放台(8)之间进行工件交接时预先向机器人指示工件交接位置以免工件的中心位置偏移的向机器人指示工件交接位置的指示装置,具有第1夹具(6)、第2夹具(13)和指示单元,所述第1夹具(6)安装在机器人手(2)上,表示可动侧的工件保持机构保持工件时工件的中心位置;所述第2夹具(13)安装在工件安放台(8)上,表示固定侧的工件保持机构在工件安放台(8)上握持工件时工件的中心位置;所述指示单元向机器人控制装置指示第1夹具(6)所表示的工件中心位置与第2夹具(13)所表示的工件中心位置一致时机器人手(2)的位置。 | ||
搜索关键词: | 机器人 指示 工件 交接 位置 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种向机器人指示工件交接位置的指示装置,为了在可动侧的机器人手与固定侧的工件安放台之间进行工件交接时预先向机器人指示工件交接位置以免工件的中心位置偏移而被使用,所述可动侧的机器人手具有保持工件外周的工件保持机构;所述固定侧的工件安放台具有保持工件外周的工件保持机构;其特征在于,具有:第1夹具,安装在上述机器人手上,表示上述可动侧的工件保持机构握持上述工件时上述工件的中心位置;第2夹具,安装在上述工件安放台上,表示上述固定侧的工件保持机构在上述工件安放台上握持上述工件时上述工件的中心位置;以及指示单元,向上述机器人的控制装置指示使上述第1夹具所表示的上述工件的中心位置与上述第2夹具所表示的上述工件的中心位置一致时上述机器人手的位置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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