[发明专利]加速度传感器装置及传感器装置无效
| 申请号： | 200580051337.4 | 申请日： | 2005-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN101253411A | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 田村泰弘 | 申请（专利权）人： | C&N株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余朦;方挺 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 加速度传感器装置(10)是在基板(12)上安装有加速度传感器芯片的装置，所述加速度传感器芯片包括：具有根据所施加的加速度而摇动的锤部(28)的加速度传感器元件(16)、以及支撑加速度传感器元件(16)的基座部(18)。在基座部(18)和基板(12)之间设有吸收两者热膨胀或者热收缩时产生的热应力的缓冲材料(46)。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 装置 | ||
【主权项】：
1.一种加速度传感器装置，包括：基板；以及加速度传感器芯片，其包括：具有根据所施加的加速度而摇动的锤部的加速度传感器元件、以及支撑所述加速度传感器元件的基座部，其特征在于，在所述基座部和基板之间设置有吸收两者热膨胀或者热收缩时产生的热应力的缓冲材料。
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