[发明专利]可偏转微机械元件有效
申请号: | 200580052156.3 | 申请日: | 2005-11-25 |
公开(公告)号: | CN101316789A | 公开(公告)日: | 2008-12-03 |
发明(设计)人: | 亚历山大·沃尔特;托马斯·克洛泽 | 申请(专利权)人: | 弗兰霍菲尔运输应用研究公司 |
主分类号: | B81B3/00 | 分类号: | B81B3/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张文;潘炜 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及可偏转微机械元件,并且该元件优选地可被平移式偏转,也可能以振荡的方式偏转。与已知的解决方案相比,本发明的目的是容许较大的偏转,且同时对侧向力和扭矩具有更好的抵抗能力。在这种情况下,在根据本发明的元件中提供了由至少一个弹簧系统所形成的悬挂装置。在弹簧系统中提供了以铰接方式与扭簧元件连接的连杆。弹簧系统的扭簧元件沿共用轴线和/或多条互相平行排列的轴线排列,并且至少一个扭簧被牢固地夹紧。 | ||
搜索关键词: | 偏转 微机 元件 | ||
【主权项】:
1.一种由悬挂装置保持的可偏转微机械元件,所述悬挂装置由至少一个弹簧系统形成,其特征在于,所述弹簧系统由以枢转方式与扭簧元件(4)连接的连杆(2、2’)形成;且所述弹簧系统的所述扭簧元件(4)沿共用轴线和/或沿多条互相平行排列的轴线排列,并且至少一个所述扭簧元件被牢固地夹紧。
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