[发明专利]减小外差干涉非线性误差一次谐波分量的方法与装置无效
| 申请号： | 200610010189.8 | 申请日： | 2006-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN101067546A | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | 谭久彬;陈洪芳;钟志;谢站磊 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 哈尔滨东方专利事务所 | 代理人： | 陈晓光 |
| 地址： | 150080黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 减小外差干涉非线性误差一次谐波分量的方法与装置，现有该类系统和方法都很复杂。本发明包括：由双频激光器发出含有两种频率、两种偏振方向的光束；该光束经分光镜后分成两束光，其中反射光经检偏器由光电探测器接收形成参考信号；透射光进入偏振分光镜被分成两束光，包括偏振方向垂直纸面的反射光和平行纸面的透射光，反射光经参考角锥棱镜反射回偏振分光镜，透射光经安装在旋转台上的测量角锥棱镜也反射回偏振分光镜；以上两束光在偏振分光镜处汇合，被反射镜反射后经检偏器由光电探测器接收形成测量信号；旋转台沿测量角锥棱镜运动方向轴向旋转测量角锥棱镜，旋转台逆时针或顺时针轴向旋转97度。本发明用于提高外差干涉测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 减小 外差 干涉 非线性 误差 一次 谐波 分量 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种减小外差干涉非线性误差一次谐波分量的方法，该方法包含以下步骤：(1)由双频激光器发出含有两种频率、两种偏振方向的光束；(2)该光束经分光镜后分成两束光，其中反射的光束经检偏器由光电探测器接收，形成参考信号；(3)透射的光束进入偏振分光镜，这束包含两种频率、两种偏振方向的光被偏振分光镜分成两束光，其中偏振方向垂直于纸面的光束被反射称为反射光束，偏振方向平行于纸面的光束被透射称为透射光束，其特征是：所述的反射光束经固定的参考角锥棱镜反射回偏振分光镜，所述的透射光束经安装在旋转台上的测量角锥棱镜也反射回偏振分光镜；以上两束经参考角锥棱镜和测量角锥棱镜反射的光束在偏振分光镜处汇合，经反射镜反射后，经检偏器由光电探测器接收，形成测量信号；所述的旋转台沿测量角锥棱镜运动方向轴向旋转测量角锥棱镜，所述的旋转台逆时针或顺时针轴向旋转97度。
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