[发明专利]大气压射频放电高速冷等离子体阵列发生器有效
| 申请号： | 200610011364.5 | 申请日： | 2006-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN1812687A | 公开（公告）日： | 2006-08-02 |
| 发明（设计）人： | 李和平;包成玉;王华博;孙文廷 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H05H1/40 | 分类号： | H05H1/40;H05H1/50;H01J37/32;H01L21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及大气压冷等离子体发生器领域，其特征在于，含有：筒型外壳、用多个单个同轴型冷等离子体发生器构成发生器阵列，该发生器阵列内置于所述的筒型外壳中；在该筒型外壳上开有射频电源接入口和冷等离子体工作气进入口；各单个冷等离子体发生器的内电极并联后接射频电源，而外电极并联后接地，并且开有侧向或轴向工作气入口；在该筒型外壳上还可开有冷却介质进出口。本申请可方便地产生大面积、均匀稳定的冷等离子体射流，该射流的面积也可按选择单个冷等离子体发生器的数量不同进行调整。 | ||
| 搜索关键词： | 大气压 射频 放电 高速 等离子体 阵列 发生器 | ||
【主权项】：
1.大气压射频放电高速冷等离子体阵列发生器，其特征在于，所选阵列型发生器含有：筒型外壳，在壳体上有射频电源连接口以及冷等离子体工作气体入口：用多个单个的同轴型冷等离子体发生器组成的发生器阵列，封装于所述筒型外壳内，所述各单个的冷等离子体发生器含有：内电极，所述各冷等离子体发生器的内电极并联后接射频电源；绝缘支座，外套于所述的内电极的电源端；外电极，外套于所述绝缘支座外，在外电极的侧向或者轴向有冷等离子体工作气进入口；所有各冷等离子体发生器的外电极并联后接地。
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