[发明专利]一种基于激光诱发原位化学反应的表面改性装置

摘要

一种基于激光诱发原位化学反应的表面改性装置，属于激光表面加工装置技术领域。激光束经反光镜反射后通过真空室面板上的石英窗被聚焦到真空室内的样品台上；运动控制装置固定在底座上带动样品台实现二维运动，样品台中埋有电阻丝；样品台上方有两块极板；真空室面板上安装有针阀，真空室通过气管与气瓶相连；插板阀的下方依次连接有分子泵、电磁隔断阀和机械泵，整个表面改性装置底座固定在机架上。本发明提供真空或纯气体环境，利用激光对基体的局部区域进行作用，辅以预加热和辉光放电，气体与基体材料发生化学反应，为激光在材料表面进行激光诱发原位化学反应提供了条件。本发明应用于电子制造、航空、汽车等行业的材料表面改性中。

主权项

1、一种基于激光诱发原位化学反应的表面改性装置，其特征在于，该装置包括反光镜1、观察窗2、低真空计3、高真空计4、放气阀5、过渡管路6、针阀7、真空室8、插板阀9、气瓶10、激光器11、石英窗13、样品台14、波纹管15、运动控制装置16、电极法兰17、底座18、机架19、电磁隔断阀21、机械泵22、电阻丝23、加热电源24、两块极板25和辉光放电电源26；激光器11发出的激光束12经反光镜1反射后通过真空室8面板上的石英窗13被引入到真空室8的样品台14上；样品台14通过波纹管15与真空室8外部的运动控制装置16相连，运动控制装置16固定在底座18上，运动控制装置16带动样品台14实现二维运动，样品台14中埋有电阻丝23，电阻丝23通过电极法兰17接外部的加热电源24；样品台14的上方有两块极板25，极板25通过电极法兰17连接到外部的辉光放电电源26上；真空室8整体放置在底座18上，整个真空室8共由六块面板组成；真空室8正前方面板上安装有一观察窗2；真空室8的左侧面板上安装有针阀7，真空室8通过气管与气瓶10相连；真空室8的左侧面板与过渡管路6相连，过渡管路6上依次分布有低真空计3、高真空计4和放气阀5；过渡管路6的另一端与插板阀9相连；插板阀9的下方连接有电磁隔断阀21；整个真空装置重量由机架19承受，底座18固定在机架19上。