[发明专利]光刻机同步时序控制串行数据通讯方法和系统及应用有效
| 申请号： | 200610027273.0 | 申请日： | 2006-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN1851559A | 公开（公告）日： | 2006-10-25 |
| 发明（设计）人： | 池峰;陈勇辉;林科;吴小健 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06F13/42 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光刻机同步时序控制的串行数据通讯系统，同步总线控制器通过同步数据总线实时向工件台运动控制卡、掩膜台运动控制卡、对准运动控制卡发布同步信息，运动控制卡接收到同步总线控制器的伺服间隔同步信号和状态同步信号，分别综合成光纤触发信号和状态信号，发送给下层I/O控制板、对准控制系统和调平调焦控制系统。本发明实现了一种步进扫描投影光刻机多个控制单元之间的实时数据通讯及其同步控制。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 同步 时序 控制 串行 数据通讯 方法 系统 应用 | ||
【主权项】：
1、一种光刻机同步时序控制的串行数据通讯系统，其特征在于：上位机与工控机CPU互连，工控机CPU板和同步总线控制器、运动控制卡、激光计数卡连接在一起，同步总线控制器、运动控制卡、激光计数卡之间相连接并可进行数据交换，运动控制卡和对应的下层I/O控制板、对准控制系统和调平调焦控制系统通过串行数据链接相连。同步总线控制器通过同步数据总线实时向工件台运动控制卡、掩膜台运动控制卡、对准运动控制卡发布同步信息，运动控制卡接收到同步总线控制器的伺服间隔同步信号和状态同步信号，分别综合成光纤触发信号和状态信号，发送给下层I/O控制板、对准控制系统和调平调焦控制系统。
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