[发明专利]微细电加工的微细电极在线检测方法

摘要

一种微细电加工的微细电极在线检测方法，属于特种加工技术领域。本发明在微细电加工机床上安装6自由度支架，夹持具有1.61μm分辨率和113－729放大率的显微光学成像系统，基于Linux进行微细电极图像采集和处理，并与数控系统进行功能和界面集成，在进行微细电加工时，人工手动或利用G代码自动将微细电极移动到观测区域，观察微细电极的加工状态，测量微细电极的直径。本发明具有检测方便、高效、高精度的特点，为微细电加工技术的发展提供了重要的观测方法，为微细电加工机床的应用提供了重要的工具支持。

主权项

1.一种微细电加工的微细电极在线检测方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)显微光学成像系统的设计，采用具有1.61μm的分辨率和113-729的放大率的显微光学成像系统；(2)显微光学成像系统与微细电加工机床的集成，在微细电加工机床上安装6自由度支架夹持显微光学成像系统；(3)基于Linux的微细电极图像采集和处理，基于V4L2 API开发了图像采集模块，采用mmap()方法将设备内存映射到用户进程的地址空间以获取图像数据；基于OpenCV开发了图像处理模块，经图像滤波、去噪之后，通过Canny边缘检测算法提取了微细电极的边界形状，观察微细电极的加工状态的同时测量微细电极的特征尺寸；(4)基于Linux的微细电极图像采集和处理与数控系统的集成，在基于Linux的数控系统人机交互界面中，人工手动或利用G代码自动将微细电极移动到观测区域，观察微细电极的加工状态，测量微细电极的直径。