[发明专利]单晶硅切割废液的处理回收方法

摘要

一种单晶硅切割废液的处理回收方法。该方法包括下列步骤：(1)将该废液用稀盐酸处理，并搅拌混合成易流动的混合料；(2)混合料加热进行固液分离，水和聚乙二醇一起蒸出，冷凝，脱水，回收得聚乙二醇，分离得的固体为碳化硅和硅的粗固体混合物；(3)将该粗固体混合物用水进行二次清洗后，得碳化硅和硅的二次清洗固体混合物；(4)接着用HNO₃+HF组成的混合酸液处理，可回收得硅和碳化硅。该方法操作容易控制，设备简单，成本低，处理回收率高，基于废液重量计算的总回收率可达26－46％，且回收得的产物质量能达到或接近标准产物的指标，可以直接在太阳能电池生产中应用。因此具有很大的经济效益，也为环保作了很大贡献，具有很大的开发前景。

主权项

1.一种单晶硅切割废液的处理回收方法，其特征在于该方法包括下列步骤：(1).将除去煤油的单晶硅切割废液放入喷雾搅拌器中，加入浓度为0.0001-0.4mol的盐酸，每公斤废液加入100-500ml盐酸溶液，搅拌时间10-30分钟，得初步混合料，排出进入喷雾混合器，再混合10-30分钟，温度上升到30-50℃，得二次混合料，排出；(2).从喷雾混合器排出的二次混合料进入固液分离器，混合料通过加热温度为50-80℃的电加热板加热，水蒸汽和聚乙二醇一起蒸出，冷凝，得水及聚乙二醇的混合液，再进入喷雾脱水器中脱水15-40分钟，温度上升到40-80℃，水分排出，即回收得聚乙二醇，固液分离器底部放出碳化硅和硅的粗固体混合物；(3).将碳化硅和硅的粗固体混合物送入第一喷雾清洗器中，加入为粗固体混合物重量的10-20％量的水，一起进行清洗10-30分钟，温度上升到40-80℃，清洗后混合物放入第一摇床，分离除去“外壳残渣”，得碳化硅和硅的一次清洗固体混合物，再送入第二喷雾清洗器中，固体混合物再重覆一次清洗后，混合物放入第二摇床，再分离除去“外壳残渣”，得到碳化硅和硅的二次清洗固体混合物；(4).将碳化硅和硅的二次清洗固体混合物送入反应器中，加入浓度为5％HNO3和浓度为30％的HF组成的混合酸液，两者的体积比为HNO3∶HF＝1∶5，每1公斤碳化硅和硅的固体混合物加入1-1.5公斤混合酸液，搅拌反应10-30分钟，温度上升到回流温度，氟硅酸溶液蒸出，冷凝，得无色透明的氟硅酸溶液，再加工回收得硅，反应器中剩余物碳化硅和酸液，过滤，碱溶液洗涤，水洗，到pH为7-7.5，干燥，回收得碳化硅。