[发明专利]无机电致发光显示器绝缘介质及其制造方法无效
| 申请号： | 200610029809.2 | 申请日： | 2006-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN101123282A | 公开（公告）日： | 2008-02-13 |
| 发明（设计）人： | 黄浩;肖田;林明通;徐毅 | 申请（专利权）人： | 上海广电电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L27/15;H01L21/31;H01L21/316;C23C14/00;C23C14/30;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200060*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 无机电致发光显示器绝缘介质及其制造方法；包括用电子束蒸发法制备了Al2O3/TiO2多层复合薄膜和AlxTiyOz薄膜作为ZnS:Mn ACTFEL器件的上介质层，用电子束蒸发法制备了BaTiO3和SrTiO3薄膜，BaTiO3薄膜的后续退火温度，并作为ZnS:MnACTFEL器件的下介质层或电子注入层，与传统溅射法制备的SrTiO3、Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜作了比较。优化了脉冲反应溅射Al2O3薄膜的工艺条件包括功率、气压和氧气含量，并应用于ZnS:Mn四像素器件和2英寸128×64矩阵屏，获得了较好的亮度结果。制备上述器件所使用的介质包括了电子束蒸发、射频磁控溅射或脉冲反应溅射的Ba0.5Sr0.5TiO3、SrTiO3、BaTiO3、HfO2、Al2O3、Ta2O5、ZrO2薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 无机 电致发光 显示器 绝缘 介质 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种无机电致发光显示器绝缘介质，包括下介质层、上介质层；其特征在于，所述介质层为复合薄膜。
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