[发明专利]蒸镀装置无效

专利信息
申请号: 200610040583.6 申请日: 2006-05-26
公开(公告)号: CN101078103A 公开(公告)日: 2007-11-28
发明(设计)人: 邱勇;许德;张祝新 申请(专利权)人: 昆山维信诺显示技术有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215300江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种用于蒸镀高温金属的蒸镀装置,包括一个带有蒸发槽的舟体和与舟体相连的左、右舟支座,其舟支座上带有保护套。舟支座上的保护套采用耐特高温的金属或金属合金制造,优选为钽、钼、铌、钛、钨,或选自钽、钼、铌、钨或钛的合金。该保护套位于支座与蒸发舟的接触面及其相邻的两个侧面,其形状与舟支座的形状一致,尺寸为刚好套在舟支座上。本发明在蒸发舟支座上设计了保护套,避免了熔融的蒸镀金属对舟支座的熔蚀,从而保证了蒸镀装置的正常使用,同时避免了电极金属材料被熔融影响蒸镀材料的纯度。
搜索关键词: 装置
【主权项】:
1.一种蒸镀装置,包括一个带有蒸发槽的舟体和与周体相连的左、右舟支座,其特征在于,舟支座上带有保护套,该保护套采用耐特高温的金属或金属合金制造。
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