[发明专利]一种对粉体表面进行镀膜的工艺及其设备有效
申请号: | 200610060920.8 | 申请日: | 2006-05-30 |
公开(公告)号: | CN101082120A | 公开(公告)日: | 2007-12-05 |
发明(设计)人: | 颜海鹏;焦天宇 | 申请(专利权)人: | 比亚迪股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/34 |
代理公司: | 深圳市港湾知识产权代理有限公司 | 代理人: | 胡亚宏 |
地址: | 518119广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明是关于一种对粉体表面进行镀膜的工艺,主要包括:提供有真空环境的工作室;让粉体在真空环境中下落,在下落过程中,采用真空镀膜发生源对粉体表面实施镀覆,尤其是粉体在上述真空环境中的下落过程中作螺旋运动,并使粉体表面形成相对均匀的覆层;以及关于一种用于这种工艺的设备,主要包括真空室、真空镀膜发生源、真空抽气系统,其中该真空室内安装有一个倒锥型或类倒锥型可旋转的料斗,该料斗上端与进料室连通,而相对的下端与收料室连通,真空镀膜发生源安装该料斗内的中部,工作室内壁上固定有用来驱动料斗旋转的且具有调速功能电机。这种工艺及其设备的单次处理量大、运行成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 体表 进行 镀膜 工艺 及其 设备 | ||
【主权项】:
1.一种对粉体表面进行镀膜的工艺,主要包括:提供有真空环境的工作室;让粉体在真空环境中下落,在下落过程中,采用真空镀膜发生源对粉体表面实施镀覆,其特征在于:粉体在上述真空环境中的下落的过程中作螺旋运动,使粉体表面形成相对均匀的覆层。
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