[发明专利]大幅面激光标刻太阳能电池

摘要

本发明公开了一种大幅面激光振镜扫描系统，用激光标刻太阳能电池，属于非晶硅薄膜太阳能电池制造技术领域。本发明是以提高非晶硅薄膜太阳能电池产品的标刻速度和精度为目的。技术特征是：电脑程序控制，幅面为400mm－600mm激光振镜扫描系统，激光标刻、定位坐标点，采用多幅面或单幅面标刻方式生产非晶硅薄膜太阳能电池，启动激光振镜扫描系统时，X－Y交联平台处于暂停状态。X或Y轴丝杆单向位移推进m或n等分标刻区域。其效果，高速标刻大幅面非晶硅薄膜太阳能电池的最大线速度400m/min，能标刻复杂图形。机械平台重量及运行速度不影响微小标刻路径的精度，生产效率高，成本低。

主权项

1.一种大幅面激光标刻太阳能电池的方法，由电脑控制激光发生器和载物工作台，包括工作电源，冷却系统，其特征还包括电脑程序控制，幅面为400mm-600mm激光振镜扫描系统；X-Y轴丝杆及伺服电机系统，将待刻基片按程序分别以X、Y轴向等分n×m相邻的(400mm×600mm)×(400mm×600mm)标刻区域；由激光振镜扫描系统，依次对各标刻区域导入的图形标刻，各标刻区域图形衔接，形成基片总体，当n＝m等于1时(n和m是自然数)，X-Y轴工作台停止工作。