[发明专利]一种用于离子注入机的高压自动放电装置有效

专利信息
申请号: 200610065119.2 申请日: 2006-03-17
公开(公告)号: CN101038851A 公开(公告)日: 2007-09-19
发明(设计)人: 伍三忠;彭立波;孙雪平;何科峰;文超 申请(专利权)人: 北京中科信电子装备有限公司
主分类号: H01J37/317 分类号: H01J37/317;H01L21/265;H01L21/425
代理公司: 北京中海智圣知识产权代理有限公司 代理人: 胡静;曾永珠
地址: 100036北京市海淀区复兴路*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明是一种用于快速释放残余高压和静电的装置,用于离子注入机中高压仓或高压区机房架残余高压和静电释放,包括底板、压块、推块、固定座、放电杆、盘头螺钉、内六角圆柱头螺钉和气缸组成。
搜索关键词: 一种 用于 离子 注入 高压 自动 放电 装置
【主权项】:
1.一种用于离子注入机的高压自动放电装置,其特征在于,包括底板(1),压块(2),推块(3),固定座(4),放电杆(5),盘头螺钉(6),盘头螺钉(7),内六角圆柱头螺钉(8),气缸(9);所述的底板(1)是将整个放电装置固定在机房上,同时将压块(2)和固定座(4)固定在底板(1)上;所述的压块(2)通过盘头螺钉(6)连接到底板(1)上,将放电杆(5)限制在底板(1)与压块(2)贴合面的孔内;所述的固定座(4)通过盘头螺钉(7)连接在底板(1)上,固定座(4)做成剖分式,通过内六角圆柱头螺钉(8)将固定座(4)的上剖分块和下剖分块连接,中间留有圆孔,将气缸(9)固定在圆孔内;所述的推块(3)通过螺纹与气缸(9)相连,当气缸(9)伸长时,推动放电杆(5)转动。
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