[发明专利]洗涤装置及洗涤方法无效
| 申请号： | 200610065164.8 | 申请日： | 2006-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN1840247A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 泽木晃;河野通久 | 申请（专利权）人： | 株式会社华祥 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B3/12;B08B13/00;F26B3/02;B08B11/00;B08B11/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周建秋;王凤桐 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 能够同时洗涤或漂洗晶圆的表面及背面并且能够确实防止已洗涤或漂洗过背面的洗涤用流体对表面造成重复污染。通过洗涤槽(23)内的洗涤用流体洗涤或漂洗该洗涤槽中设置的晶圆(1)的洗涤装置(11)包括：嵌接在装置主体(29)上构成洗涤槽并且形成对应于晶圆外形的开口部(30)的正面壁(28)；从正面壁的外侧通过上述开口部能够支持从正面壁内侧搬入的晶圆的背面(3)、并使上述晶圆在纵向上呈竖直状态的晶圆支持装置(24)；以及在上述正面壁内面的上述开口部周围设置的接触晶圆的背面、并使上述晶圆与上述开口部周围之间形成环状间隙(72)的栓(71)。 | ||
| 搜索关键词： | 洗涤 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种洗涤装置，其特征在于，所述洗涤装置是利用洗涤槽内的洗涤用流体来洗涤或漂洗放置在上述洗涤槽中的被处理物，所述洗涤装置具有：一侧壁，该一侧壁在与装置本体连接构成所述洗涤槽的同时，形成有与所述被处理物外形对应的开口部；支持设备，该支持设备从所述一侧壁的外侧通过所述开口部支持装入所述一侧壁内侧的所述被处理物的背面，并使所述被处理物支持成纵向竖直的状态；以及间隙形成部件，该间隙形成部件设置在所述一侧壁的内面的所述开口部周围，用于通过与所述被处理物的背面接触，而在所述被处理物和所述开口部周围之间形成间隙。
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