[发明专利]低非线性误差的位移测量干涉仪无效
| 申请号： | 200610066827.8 | 申请日： | 2006-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1854678A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 威廉·克莱·施卢赫特尔;罗伯特·托德·贝特 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王安武 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种使引入位移测量的非线性误差最小的干涉仪。在一种实施例中，通过在参考光束和测量光束各自通往检测器的大部分光路上将它们隔离开来，并通过对输入干涉仪的每个光束使用单独的分振幅非偏振分束器，减小了非线性误差。此外，干涉仪可调整到任意数目的光轴或输入。 | ||
| 搜索关键词： | 非线性 误差 位移 测量 干涉仪 | ||
【主权项】：
1.一种单块干涉仪组件，包括：第一输入菱体子组件，所述第一输入菱体子组件具有第一输入表面和第一输出表面，在它们之间设置第一分振幅非偏振界面；第二输入菱体子组件，所述第二输入菱体子组件具有第二输入表面和第二输出表面，在它们之间设置第二分振幅非偏振界面；偏振分束器子组件，所述偏振分束器子组件包括至少第一面、第二面和第三面并具有位于它们之间的偏振分束器界面；其中所述第一输入菱体子组件的第一输出表面安装到所述偏振分束器子组件的第一面，所述第二输入菱体子组件的第二输出表面安装到所述偏振分束器子组件的第二面，所述输入菱体和所述偏振分束器子组件彼此设置并安装使得分别具有第一频率和第二频率的第一光束和第二光束可以分别经过所述第一输入表面和所述第二输入表面空间分离地进入所述干涉仪组件，所述第一分振幅非偏振界面和所述第二分振幅非偏振界面对所述第一光束和所述第二光束进行分光。
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