[发明专利]距离估计装置、异常检测装置、温度调节器及热处理装置无效
| 申请号： | 200610073286.1 | 申请日： | 2006-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN1847786A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | 山田隆章;南野郁夫;尾崎史典 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | G01B21/16 | 分类号： | G01B21/16;H01L21/00;H01L21/324;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 邵亚丽;李晓舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种距离估计装置、异常检测装置、温度调节器及热处理装置。在使被处理物接近热板而进行的热处理中，可以估计被处理物和热板的距离。基于载置并作为被处理物进行热处理的工件的热板(1)的温度信息，例如热板(1)的温度的斜率的绝对值，通过由距离估计部件(7)估计工件和热板(1)的距离，由判定部件(8)比较估计的距离和阈值，从而判定有无异常。 | ||
| 搜索关键词： | 距离 估计 装置 异常 检测 温度 调节器 热处理 | ||
【主权项】：
1.一种距离估计装置，估计由热处理部件对被处理物进行热处理的该热处理中的所述被处理物与所述热处理部件的距离，其特征在于，该装置具有根据所述被处理物以及所述热处理部件的至少一个的温度信息来估计所述距离的距离估计装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于欧姆龙株式会社，未经欧姆龙株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610073286.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：背光模块及应用其的液晶显示器
- 下一篇：磁性光缆及其制造方法
