[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法无效
| 申请号： | 200610075717.8 | 申请日： | 2006-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN101060137A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 邱羡坤;官永佳;孙国升 | 申请（专利权）人： | 中华映管股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 台湾省台北*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种薄膜晶体管，其包括基板、底部层、铜栅极、栅绝缘层、沟道层与源极/漏极。底部层设置在基板上。铜栅极设置在底部层上。栅绝缘层覆盖铜栅极与底部层。沟道层设置在栅绝缘层上，并位于铜栅极上方。源极/漏极设置在铜栅极上方的沟道层的两侧。本发明的薄膜晶体管通过底部层的设置，而解决铜栅极与基板之间附着力不佳的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管，其特征是包括：基板；底部层，设置在该基板上；铜栅极，设置在该底部层上；栅绝缘层，覆盖该铜栅极与该底部层；沟道层，设置在该栅绝缘层上，并位于该铜栅极上方；以及源极/漏极，设置在该铜栅极上方的该沟道层的两侧。
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