[发明专利]电磁力并联驱动式平面三自由度精密微动台有效
| 申请号： | 200610076247.7 | 申请日： | 2006-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN1838330A | 公开（公告）日： | 2006-09-27 |
| 发明（设计）人： | 汪劲松;朱煜;曹家勇;尹文生;段广洪;杨一博 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00;G12B9/10;B25H1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 电磁力并联驱动式平面三自由度精密微动台，属于精密微动台技术领域。为了增强平面三自由度精密微动台电磁推力的线性特性、降低对象控制的难易程度、增大峰值推力、提高响应速度，本发明公开一种电磁力并联驱动平面三自由度精密微动台，包括工件台、基座、电磁驱动组件、平面导向组件和位置检测传感器组件。电磁驱动组件由若干电磁驱动元件构成，电磁驱动元件由互不接触的定子和动子组成；定子固定于基座上，且由若干永磁体和铁磁性材料制成的定子铁心组成，永磁体固定于定子铁心上，使得永磁体的磁化方向与工件台的运动平面垂直；动子中的方形线圈通过线圈骨架或连接构件与工件台固连，使得方形线圈存在两相对有效边与工件台的运动平面平行。 | ||
| 搜索关键词： | 磁力 并联 驱动 平面 自由度 精密 微动 | ||
【主权项】：
1.电磁力并联驱动式平面三自由度精密微动台，包括工件台、基座、电磁驱动组件、平面导向组件和位置检测传感器组件，其特征在于：所述电磁驱动组件由若干电磁驱动元件构成，所述电磁驱动元件由定子和动子两部分组成，所述定子和动子不相互接触；所述定子固定于基座上，且由若干永磁体和铁磁性材料制成的定子铁心组成，所述永磁体固定于定子铁心上，使得永磁体的磁化方向与工件台的运动平面垂直；所述动子包含一个截面形状为方形的线圈，所述方形线圈通过线圈骨架或连接构件与工件台固连，使得所述方形线圈存在两相对有效边与工件台的运动平面平行。
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