[发明专利]半导体芯片结构无效
申请号: | 200610084095.5 | 申请日: | 2006-05-23 |
公开(公告)号: | CN101079405A | 公开(公告)日: | 2007-11-28 |
发明(设计)人: | 陈德威 | 申请(专利权)人: | 慧荣科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/485 | 分类号: | H01L23/485 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 任永武 |
地址: | 台湾省新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种半导体芯片结构,包含有一顶层金属层,以及位于顶层金属层下方的一内层介电层。顶层金属层具有一焊垫区域,以及一非焊垫区域。内层介电层包含有:至少一第一介层窗,第一介层窗配置于焊垫区域下方;以及复数个第二介层窗,第二介层窗配置于非焊垫区域下方。第一介层窗的尺寸远大于第二介层窗的尺寸,以提高焊垫可靠度。第一介层窗可为矩形、正方形,或多边形。顶层金属层具有一预定厚度,以提高打线接合的良率。 | ||
搜索关键词: | 半导体 芯片 结构 | ||
【主权项】:
1.一种半导体芯片结构,包含:一顶层金属层,包含一焊垫区域以及一非焊垫区域,其中该焊垫区域用以与一外部电路进行电性连结;以及一内层介电层,位于该顶层金属层下方,包含:至少一第一介层窗,配置于该焊垫区域下方,每一所述的第一介层窗具有一第一介层窗插塞形成于其中,以及复数个第二介层窗,配置于该非焊垫区域下方,每一所述的第二介层窗具有一第二介层窗插塞形成于其中,所述的第一介层窗的尺寸远大于所述的第二介层窗的尺寸,以提高该电性连结可靠度。
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