[发明专利]激光加工机的聚光透镜的污垢检测方法及装置无效
申请号: | 200610084871.1 | 申请日: | 2006-05-23 |
公开(公告)号: | CN101078691A | 公开(公告)日: | 2007-11-28 |
发明(设计)人: | 山崎恒彦;宫川直臣 | 申请(专利权)人: | 山崎马扎克公司 |
主分类号: | G01N21/958 | 分类号: | G01N21/958;B23K26/06;B23K26/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 刘建 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种根据焦点距离的变化检测激光加工机的聚光透镜上的污垢的技术。用加工头(50)内的聚光透镜(100)会聚从激光谐振器(10)输出的激光束(LB),由激光嘴(60)向试验件(TP)照射。激光加工机的控制装置向Z轴方向移动控制加工头(50),存储坐标。如果焦点在试验件(TP)上一致,就发生蓝色火焰(BF)。受光装置(300)受光蓝色火焰,向控制装置发送信号。如果在聚光透镜(100)上附着污垢,因蓄积热透镜膨胀,焦点距离缩短。根据此变化检测聚光透镜的污垢。 | ||
搜索关键词: | 激光 加工 聚光 透镜 污垢 检测 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种激光加工机的聚光透镜的污垢检测方法,该激光加工机,具备:具有会聚从激光谐振器供给的激光束的聚光透镜的加工头、和检测在会聚的激光束的焦点位置与加工物表面一致时产生的强光的光传感器,其中:通过检测聚光透镜的焦点位置的变化,而检测聚光透镜的污垢。
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