[发明专利]单色仪衍射光栅角位移的控制方法

摘要

本发明公开了一种单色仪衍射光栅角位移的控制方法。现有单色仪衍射光栅角位移的控制方法中大多采用驱动电机加上机械减速装置而组成，由于机械减速装置的机械间隙与机械磨损等影响，采用此种角位移控制技术的单色议的精度与稳定性很难达到高质量的技术要求。本控制方法采用了驱动电机直接带动衍射光栅的方式来实现对衍射光栅角位移的控制，因此排除了机械传动所造成的误差与影响，而且由于增加了光电编码器的反馈与闭环控制环节，所以大大提高了单色仪的精度和稳定性，提升单色仪的技术品质，满足市场对高端单色议的需要。

主权项

1、一种单色仪衍射光栅角位移的控制方法：本控制系统由衍射光栅(1)，光栅座(2)，连接轴(3)，轴承(4)及轴承座(6)，伺服电机(8)与伺服电机驱动器(10)，光电编码器(9)，角位移控制板(11)等零部件组成。本控制方法为：根据单色仪衍射光栅(1)角位移量的要求，由角位移控制板(11)输出设定的角位移控制信号给伺服电机驱动器(10)，伺服电机驱动器(10)将信号进行功率放大后驱动伺服电机(8)转动，伺服电机(8)通过连接轴(3)带动光栅座(2)和衍射光栅(1)转动，与此同时与伺服电机(8)同轴安装的光电编码器(9)检测到伺服电机(8)的角位移量并将获取的信息反馈给角位移控制板(11)，角位移控制板(11)根据此信息进行计算、判断并调整输出信号来改变伺服电机(8)的角位移量，实现光栅单色仪衍射光栅(1)的精确角位移控制。