[发明专利]双折射光学器件相位延迟量及快轴方向的测量方法及装置无效
| 申请号： | 200610089082.7 | 申请日： | 2006-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN101118199A | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 蒋弘;吴健;陈强华;柳忠尧;李睿颖 | 申请（专利权）人： | 北京市普锐科创科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 100085北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明双折射光学器件相位延迟量及快轴方向的测量方法及装置，能较好解决测量过程中的测量精度差的问题，方法是：将激光器发出的一对正交双频激光进行分光分成反射光和透射光；反射光和透射光两路光中至少有一路经过改变偏振角后通过双折射被测样品测量点，然后折返再通过所述被测样品测量点，使光束中两个频率的偏振分量的相位发生不同的延迟，引起相位变化；然后使两路光在分别经过检偏器合成后，分别转化为具有不同相位差的参考拍频信号和测量拍频信号；至少获得两次相位差，就可计算出测量点相位延迟量及快轴方向；本发明方法和装置使两参数的测量变得简单并消除了原理误差和系统误差。 | ||
| 搜索关键词： | 双折射 光学 器件 相位 延迟 方向 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
1.双折射光学器件相位延迟量及快轴方向的测量方法，将激光器发出的一对正交双频激光进行分光分成反射光和透射光；所述反射光和透射光两路光中至少有一路光经过改变偏振角后通过双折射被测样品测量点，其特征在于该路光折返再通过所述被测样品测量点，使光束中两个频率的偏振分量的相位发生不同的延迟，引起相位变化；然后使两路光在分别经过检偏器合成后，分别转化为具有不同相位差的参考拍频信号和测量拍频信号；至少获得两次相位差，就可计算出测量点相位延迟量及快轴方向；记录下每个被测样品测量点参考拍频信号和测量拍频信号的相位差，通过计算即可得到被测样品的相位延迟量和快轴方向。
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