[发明专利]电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环无效
| 申请号： | 200610089390.X | 申请日： | 2006-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN1877998A | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | 樊尚春;蔡晨光;邢维巍 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | H03L7/18 | 分类号： | H03L7/18;G01H11/06 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 关玲;成金玉 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环，闭环控制系统包括低通滤波器，模拟数字转换器、微处理器、直接数字合成信号源和激励放大器。敏感结构的拾振电阻输出的信号经过低通滤波器放大和滤波后，由模拟数字转换器转换成数字信号输入到微处理器中，微处理器控制直接数字合成信号源输出正弦信号，作为拾振电阻的参考信号，直接数字合成信号源输出的正弦信号经过激励放大器放大，作为敏感结构中激励元件的激励信号激励谐振器。由敏感元件的拾振电阻、低通滤波器、模拟数字转换器、微处理器和直接数字合成信号源构成一个锁相环，其中拾振电阻作为鉴相器，从而实现传感器的锁相闭环。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 拾振式硅 微机 谐振 传感器 数字 闭环 | ||
【主权项】：
1、电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环，其特征在于：闭环控制系统(2)包括敏感结构(1)的拾振电阻(8)、低通滤波器(7)、模拟数字转换器(6)、微处理器(5)、直接数字合成信号源(4)和激励放大器(3)，敏感结构(1)的拾振电阻(8)输出的信号经过低通滤波器(7)放大和滤波，由模拟数字转换器(6)换成数字信号输入到微处理器(5)中，微处理器(5)控制直接数字合成信号源(4)输出所需要的正弦信号，作为拾振电阻(8)的参考信号，直接数字合成信号源(4)输出的正弦信号经过激励放大器(3)放大，作为敏感结构中激励元件(10)的激励信号激励谐振器(9)，从而实现传感器的锁相闭环。
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