[发明专利]盘装置校正系统、信息管理装置、母盘生产装置和母盘生产方法无效
申请号: | 200610093127.8 | 申请日: | 2006-06-22 |
公开(公告)号: | CN101025984A | 公开(公告)日: | 2007-08-29 |
发明(设计)人: | 铃木启之;山田朋良;福士雅则;高石和彦;丸山次人;黑山纯夫 | 申请(专利权)人: | 富士通株式会社 |
主分类号: | G11B21/10 | 分类号: | G11B21/10;G11B5/58 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 孙海龙 |
地址: | 日本神奈*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 盘装置校正系统、信息管理装置、母盘生产装置和母盘生产方法。母盘产生装置产生加入有母盘识别信息的母盘。盘产生装置使用加入有母盘识别信息的母盘来产生加入有母盘识别信息的第一盘。在加入有母盘识别信息的第一盘被安装之后,第一盘装置根据第一盘的母盘识别信息从校正信息存储装置获取第一校正信息。 | ||
搜索关键词: | 装置 校正 系统 信息管理 母盘 生产 方法 | ||
【主权项】:
1、一种盘装置校正系统,包括:母盘产生装置,其产生在第一盘的轨迹上形成伺服信号时用作图案的母盘;盘产生装置,其使用所述母盘产生其上的所述轨迹上形成有伺服信号的第一盘;第一盘装置,其包括通过所述盘产生装置产生的第一盘,并读取记录在第一盘的轨迹上的所述伺服信号,同时校正所述伺服信号;和校正信息存储装置,其对应地存储用于识别母盘的母盘识别信息和用于校正从母盘产生的第一盘的伺服信号的第一校正信息,所述母盘识别信息是对母盘特有的特有信息,其中:所述母盘产生装置产生加入有母盘识别信息的母盘;所述盘产生装置使用加入有母盘识别信息的母盘来产生加入有母盘识别信息的第一盘;和在安装了加入有母盘识别信息的第一盘之后,第一盘装置根据第一盘的母盘识别信息从校正信息存储装置获得第一校正信息。
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