[发明专利]降低超纯水中微量有机物的方法及其系统无效
申请号: | 200610098429.4 | 申请日: | 2006-07-04 |
公开(公告)号: | CN101100331A | 公开(公告)日: | 2008-01-09 |
发明(设计)人: | 金光祖;张佩琳;陈建宏;陈秋美 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | C02F1/72 | 分类号: | C02F1/72;C02F1/461 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 梁挥;徐金国 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种降低超纯水中微量有机物的方法及其系统,应用于总有机碳浓度小于1ppb超纯水的微量有机物去除,以避免传统离子交换树脂会溶出微量有机物的现象,本发明的方法,包含步骤:提供一总有机碳浓度小于1ppb以下的超纯水,其包含一微量有机物;降解该超纯水的该微量有机物,使该微量有机物解离为一带电离子;及将该超纯水导入一连续式电解去离子装置以去除该带电离子。本发明先将微量有机物降解为带电离子,再进一步通过连续式电解去离子装置移除带电离子,以降低超纯水的总有机碳含量,提升超纯水的电阻值。 | ||
搜索关键词: | 降低 超纯水 微量 有机物 方法 及其 系统 | ||
【主权项】:
1.一种降低超纯水中微量有机物的方法,其特征在于,包含步骤:提供一总有机碳浓度小于1ppb以下的超纯水,其包含一微量有机物;降解该超纯水的该微量有机物,使该微量有机物解离为一带电离子;及将该超纯水导入一连续式电解去离子装置以去除该带电离子。
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