[发明专利]基板清洗刷、和使用该刷的基板处理装置及基板处理方法有效
| 申请号： | 200610105801.X | 申请日： | 2006-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN1891355A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | 岩见优树;佐藤雅伸 | 申请（专利权）人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B11/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐恕 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及基板清洗刷、和使用该刷的基板处理装置以及基板处理方法，该基板清洗刷包括端面清洗部和与该端面清洗部相结合的周边清洗部。端面清洗部具有被按压接触于基板的端面的端面清洗面。周边清洗部具有被按压接触于基板的主面的周边部的周边清洗面，该周边清洗面从端面清洗面的伸出长度可变。 | ||
| 搜索关键词： | 基板清 洗刷 使用 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板清洗刷，其特征在于，包括：端面清洗部，其具有按压接触基板端面的端面清洗面；周边清洗部，其与该端面清洗部相结合，并且具有按压接触上述基板主面的周边部的周边清洗面，该周边清洗面从上述端面清洗面的伸出长度是能够变更的。
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