[发明专利]用于涂覆基板的蒸发器装置无效
| 申请号： | 200610106167.1 | 申请日： | 2006-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN1908224A | 公开（公告）日： | 2007-02-07 |
| 发明（设计）人： | 冈特·克莱姆;马库斯·本德;乌尔里克·恩格勒特;安德烈亚斯·克洛普尔;尤维·霍夫曼;汉斯－乔格·洛茨;斯蒂芬·海因;斯蒂芬·凯勒 | 申请（专利权）人： | 应用材料两合公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 王景刚;王冉 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种带有坩锅的蒸发器装置，其中坩锅被分成至少两个区，每个区被加热到不同的温度。第一区是熔化区，第二区是蒸发区。蒸发器装置优选地用于金属的蒸发。如果金属要进行蒸发，那么优选地将金属线导入熔化区。但是，金属合金也可以蒸发，因此由不同材料组成的一根或多根金属线被导入熔化区。在熔化区和蒸发区之间可设置有加热区。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 涂覆基板 蒸发器 装置 | ||
【主权项】：
1、一种使用至少一种材料涂覆基板的蒸发器装置，包括至少一个坩锅，该坩锅具有a)熔化区(2)b)蒸发器区(5)c)在所述熔化区(2)与所述蒸发器区(5)之间的连接部分，d)加热装置(28，18)，该装置允许将所述熔化区(2)和所述蒸发器区(5)的每个加热到不同的温度，其特征在于，熔化区(2)和蒸发器区(5)之间的连接部分是带有盆槽(24)且上方开口的加热区(4)，熔化的材料经由其表面从所述熔化区(2)流动到所述蒸发器区(5)，其中所述加热区(4)的温度介于所述熔化区(2)的温度与所述蒸发器区(5)的温度之间。
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