[发明专利]高可靠性的射频发生器结构无效
| 申请号： | 200610109041.X | 申请日： | 2006-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN1905375A | 公开（公告）日： | 2007-01-31 |
| 发明（设计）人： | 亚伦·T·瑞多姆斯基;乔恩·士麦卡;丹尼尔·J·林肯;约根德拉·查拉;大卫·J·库姆;威帝姆·卢波莫斯基 | 申请（专利权）人： | MKS仪器有限公司 |
| 主分类号： | H04B1/02 | 分类号： | H04B1/02;H04B1/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王琦;王诚华 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 开放的射频RF发生器系统，包括至少一个电源、至少一个从所述电源接收输入的功率放大器，和电源控制模块以及系统控制器。来自至少一个电源的输出可以被组合并施加到各个功率放大器。来自至少一个功率放大器中的各个功率放大器的输出可以组合，以产生一个单个RF信号。补偿模块控制所述至少一个电源的工作。所述补偿模块、系统控制模块以及电源控制器按照菊化链结构通信。 | ||
| 搜索关键词： | 可靠性 射频 发生器 结构 | ||
【主权项】：
1、一种射频RF功率发生器，包括：产生RF功率的驱动器模块；放大所述RF功率的功率放大器模块；以及包括第一通信端口的数据获取模块，其接收与所述功率放大器模块相关的诊断数据，其中，所述数据获取模块保存通过所述第一通信端口接收故障指示之前预定时段内所接收的数据。
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