[发明专利]透明导电性层叠体及备有其的触摸屏有效
申请号: | 200610112190.1 | 申请日: | 2006-08-17 |
公开(公告)号: | CN101127254A | 公开(公告)日: | 2008-02-20 |
发明(设计)人: | 梨木智刚;菅原英男;吉武秀敏 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01B7/02;B32B9/00;G06F3/041 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 苗堃;刘继富 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的透明导电性层叠体的特征在于,它具有透明的膜基材、在所述透明膜基材的一面用干法工艺设置的厚度为1~30nm而相对折射率为1.6~1.9的SiOX膜(x大于等于1.5而小于2)、在所述SiOX膜上设置的厚度为10~50nm的SiO2膜以及在所述SiO2膜上设置的厚度为20~35nm的透明导电性薄膜。 | ||
搜索关键词: | 透明 导电性 层叠 备有 触摸屏 | ||
【主权项】:
1.一种透明导电性层叠体,其特征在于,具有透明的膜基材、在所述透明膜基材的一面用干法工艺设置的厚度1~30nm而相对折射率为1.6~1.9的SiOX膜、在所述SiOX膜上设置的厚度为10~50nm的SiO2膜以及在所述SiO2膜上设置的厚度为20~35nm的透明导电性薄膜,所述SiOX膜中的x大于等于1.5而小于2。
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