[发明专利]用于对称和/或同心的射频匹配网络的方法和设备有效
| 申请号： | 200610112258.6 | 申请日： | 2006-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN1925322A | 公开（公告）日： | 2007-03-07 |
| 发明（设计）人： | 卡尔·A·索伦森;约翰·M·怀特 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H7/38 | 分类号： | H03H7/38;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供适于使电力负载的阻抗与电信号发生器的阻抗匹配的设备和方法。本发明包括提供适于共同使电力负载的阻抗与电信号发生器的阻抗匹配的多个电子元件。所述电子元件相对于一个轴对称且同心排列。另外，本发明还可以包括适于使电信号发生器与电子元件电连接的第一连接器。另外，本发明还可以包括适于使负载与电子元件电连接的第二连接器。本发明提供很多其它方案。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 对称 同心 射频 匹配 网络 方法 设备 | ||
【主权项】：
1、一种设备，包含：第一连接器，具有第一纵轴；第二连接器，具有第二纵轴；以及组装件，包括一个或多个元件，其中，所述一个或多个元件中至少之一与该第一连接器连接，并且所述一个或多个元件中至少之一与该第二连接器连接，并且其中，所述一个或多个元件相对于第三轴对称设置。
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