[发明专利]气体分离装置无效
| 申请号： | 200610113103.4 | 申请日： | 2006-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN101144163A | 公开（公告）日： | 2008-03-19 |
| 发明（设计）人： | 林盛 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C23F1/12 | 分类号： | C23F1/12;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵镇勇;王连军 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气体分离装置，用于向反应腔室供工艺气体，设于反应腔室的介质窗体上，包括上盖、下盖，上盖与下盖构成封闭空间，上盖上设有进气口，下盖上设有多个出气口。可以采用上、下盖分体的形式，也可以采用一体的形式；可以单独设置，也可以用介质窗体作为上盖，或将介质窗体内部掏空做成气体分离装置。结构简单、气体分布均匀性好，尤其适用于半导体硅片加工设备的供气系统中，也适用于其它场合的供气。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 分离 装置 | ||
【主权项】：
1.一种气体分离装置，用于向反应腔室供工艺气体，设于反应腔室的介质窗体上，其特征在于，所述的气体分离装置包括上盖、下盖，所述的上盖与下盖构成封闭空间，上盖上设有进气口，下盖上设有多个出气口。
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