[发明专利]一种陶瓷零件表面的清洗方法有效
| 申请号： | 200610113455.X | 申请日： | 2006-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN101152651A | 公开（公告）日： | 2008-04-02 |
| 发明（设计）人： | 陶林 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/12;B08B7/04;B08B1/00;B08B3/02;C04B35/64;F26B5/00;C11D7/50;C11D7/06;C11D7/08 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑立明 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明所述的陶瓷零件表面的清洗方法，在清洗过程中采用有机溶剂、碱性溶液、酸性溶液和超纯水对零部件进行清洗，可以有效的去除附着于陶瓷零件表面的聚合物薄膜，且步骤简单方便，清洗效果理想，而且不会对陶瓷表面造成损伤。应用此方法对半导体工艺一段时间后的陶瓷零部件清洗后，陶瓷零部件表面的污染物完全被除去，且陶瓷件的表面没有遭到损伤，清洗后的陶瓷零部件完全满足正常工艺的要求，达到清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 零件 表面 清洗 方法 | ||
【主权项】：
1.一种陶瓷零件表面的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：A、用有机溶剂清洗零件表面；B、用碱性溶液清洗零件表面；C、将零件放入超声槽中，清洗设定的时间。
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