[发明专利]一种耐活性氧腐蚀的新型高效衬底加热装置

摘要

本发明公开了一种耐活性氧腐蚀的衬底加热装置，包括固定板、两端开口的热屏蔽套筒、一片以上热屏蔽片、高温加热单元、一端开口的透明隔离罩单元以及衬底放置单元。本发明采用合理物理几何设计结构，能获得不低于1000℃均匀平面温场，且控温精度极高；透明隔离罩单元能在不影响系统热效率与温场分布情况下有效阻止活性氧束流对高温加热单元的直接腐蚀，无需将加热单元与氧环境完全隔离即可有效减少加热单元的污染，提高使用寿命，而且该装置结构简单，成本低廉，非常适用于高真空氧化物薄膜的制备。

主权项

1、一种耐活性氧腐蚀的衬底加热装置，其特征在于，包括固定板、两端开口的热屏蔽套筒、一片以上热屏蔽片、高温加热单元、一端开口的透明隔离罩单元以及衬底放置单元；热屏蔽套筒套装在透明隔离罩单元内，并与该透明隔离罩单元之间形成适当间隙，固定板套装固定在所述热屏蔽套筒的上端，固定板上对称设置有两个以上的对热屏蔽片固定柱和一对圆柱电极，所述热屏蔽片沿该热屏蔽片固定柱轴向均布，所述高温加热单元固定在热屏蔽片固定柱上远离固定板的一端，该高温加热单元底部与所述透明隔离罩单元之间形成有适当间隙，衬底放置单元安装在所述透明隔离罩单元底部。