[发明专利]一种双面高温超导薄膜多层结构及其制备方法无效
| 申请号： | 200610113749.2 | 申请日： | 2006-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN101162626A | 公开（公告）日： | 2008-04-16 |
| 发明（设计）人： | 李弢;古宏伟;杨坚;王霈文 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院 |
| 主分类号： | H01B12/06 | 分类号： | H01B12/06;H01B13/00;H01L39/02;H01L39/24;B32B5/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 耿小强 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双面高温超导薄膜多层结构及其制备方法。该双面高温超导薄膜多层结构，包括低成本非单晶氧化物基片，所述低成本非单晶氧化物基片的两面分别依次设有金属薄膜层、双轴织构的氧化物薄膜层以及超导薄膜层。首先在低成本基片上生长一层表面良好的金属薄膜，再用离子束辅助沉积工艺在金属薄膜上制备具有双轴织构的氧化物薄膜材料，所以可以不使用价格昂贵的氧化物单晶材料作为大面积双面高温超导薄膜的基片材料，而选用成本低廉的Si单晶等基片材料。所制备的双面高温超导薄膜成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双面 高温 超导 薄膜 多层 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种双面高温超导薄膜多层结构，包括低成本非单晶氧化物基片，所述低成本非单晶氧化物基片的两面分别依次设有金属薄膜层、双轴织构的氧化物薄膜层以及超导薄膜层。
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