[发明专利]检测键合质量的红外透视成像装置及调节方法无效
| 申请号： | 200610114407.2 | 申请日： | 2006-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN101178368A | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | 何国荣;郑婉华;杨国华;石岩;渠红伟;宋国锋;陈良惠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/95;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明一种检测键合质量的红外透视成像装置，其特征在于，包括如下几个部分：一灯箱，该灯箱为黑色，该灯箱前端开有一出光孔；一导轨，该导轨位于灯箱上的出光孔的前端，在该导轨上依次排列有第一凸透镜、小孔光阑、第二凸透镜、样品架及红外摄像头；一监视器，该监视器通过数据线与红外摄像头连接。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 质量 红外 透视 成像 装置 调节 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检测键合质量的红外透视成像装置，其特征在于，包括如下几个部分：一灯箱，该灯箱为黑色，该灯箱前端开有一出光孔；一导轨，该导轨位于灯箱上的出光孔的前端，在该导轨上依次排列有第一凸透镜、小孔光阑、第二凸透镜、样品架及红外摄像头；一监视器，该监视器通过数据线与红外摄像头连接。
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