[发明专利]优化探针台扎针次数的方法有效
| 申请号： | 200610116403.8 | 申请日： | 2006-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN101149413A | 公开（公告）日： | 2008-03-26 |
| 发明（设计）人： | 杜发魁;桑浚之;惠力荪 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾继光 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种优化探针台扎针次数的方法，通过对晶圆上所有芯片的位置进行数据采集，并根据探针卡的形状与晶圆匹配的形状，将所有可能的扎针路线及次数全部计算出来，根据结果得到最少的扎针次数。采用本发明的方法可以极大限度缩短整枚晶圆的测试时间，极大的降低的测试成本，提升芯片的竞争力。 | ||
| 搜索关键词： | 优化 探针 扎针 次数 方法 | ||
【主权项】：
1.一种优化探针台扎针次数的方法，其特征在于：首先，对被测晶园进行芯片分布取样，然后，根据晶园图形和探针卡形状的具体情况，对所有可能的步进路线进行穷举计算，得到所有可能路线的扎针次数，并同时记录所有可能路线的起始位置和步进路线，从所有结果中选取最少的扎针次数进行起始位置和行进路线的指定。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华虹NEC电子有限公司，未经上海华虹NEC电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610116403.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
