[发明专利]网格状分立的发光二极管外延片及其制造方法无效
| 申请号： | 200610118714.8 | 申请日： | 2006-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN101192635A | 公开（公告）日： | 2008-06-04 |
| 发明（设计）人： | 江忠永;刘榕;兰叶 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰明芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 郭蔚 |
| 地址： | 310018浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明揭示了网格状分立的发光二极管外延片，所述外延片包括：一外延衬底；一网格状掩模层，设置在所述外延衬底上；一外延层，设置在所述外延衬底上的所述网格状掩模层之间。本发明还公开了网格状分立的发光二极管外延片的制造方法，包括：在外延衬底上沉积一掩膜层；在所述掩膜层上制作一呈网格状光刻胶层；去除所述网格状光刻胶层的网格间的掩模层；去除所述网格状光刻层，留下掩膜层；在暴露出的所述外延衬底上沉积一外延层。该网格状分立的发光二极管外延片可以有效消除由于外延层薄膜与衬底间应力导致的圆片翘曲。从而有利于生长均匀性更高的发光二极管材料(为实现更大尺寸的圆片外延提供基础)，同时还可以提升芯片加工的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 网格 分立 发光二极管 外延 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.网格状分立的发光二极管外延片，所述外延片包括：一外延衬底；一网格状掩模层，设置在所述外延衬底上；一外延层，设置在所述外延衬底上的所述网格状掩模层之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州士兰明芯科技有限公司，未经杭州士兰明芯科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610118714.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：船舶建造系统
- 下一篇：具有磁性增强和散热壳体的混合步进电机
