[发明专利]一种遮光掩膜板的制造方法及其应用无效
| 申请号： | 200610119116.2 | 申请日： | 2006-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN101196690A | 公开（公告）日： | 2008-06-11 |
| 发明（设计）人： | 焦峰;秦锋 | 申请（专利权）人： | 上海广电NEC液晶显示器有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/20;G03F7/42;G03F7/26;H01L21/027;G03F7/004;G03F1/14 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 201108上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 现有的刻蚀工艺用的掩膜板的制造需要用到一个价格昂贵、制作过程复杂的石英母版，因而提高了刻蚀用掩膜板的制作成本和制作时间；本发明提供了一种不使用石英母版来生产刻蚀用掩膜板的新方法来制作掩膜板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 遮光 掩膜板 制造 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.一种具有预定图案的掩膜板的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：a.在基板的金属膜上不使用遮光板母版形成具有所述预定图案的用于刻蚀金属膜的刻蚀阻挡层。
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